Beschreibung
Osram HBO 1002 W/NIL – Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe für Nikon-Belichtungssysteme
Die HBO 1002 W/NIL wurde von Osram gezielt für Nikon i-line-Belichtungssysteme in der Mikrolithografie entwickelt und ist entsprechend mit diesen Anlagen qualifiziert. Sie liefert eine hohe spektrale Intensität mit Spitzenwert bei 365 nm Wellenlänge.
Über die Nikon-spezifische Auslegung hinaus zeigt sich bei dieser Lampe der typische Aufbau der HBO-Baureihe: eine kompakte Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe für präzise UV-Belichtungsprozesse.
Einsatzbereiche
Der Einsatzbereich ist die Mikrolithografie, konkret in Systemen von Nikon, mit denen die Lampe qualifiziert ist. Damit ist sie für einen sehr spezifischen industriellen Anwendungsfall vorgesehen.
Vorteile im Alltag
Die hohe spektrale Intensität bei 365 nm ist ideal auf die Anforderungen der Mikrolithografie abgestimmt. Die Auslegung für lang anhaltende Leistung sorgt für gleichbleibende Belichtungsergebnisse über die Betriebsdauer der Lampe.
Technik in Kürze
Bei einer Spannung von 27,1 V beträgt der Durchmesser 29 mm und die Länge 190 mm (Gesamtlänge 187 mm), der Lichtschwerpunkt (LCL) liegt bei 78,5 mm. Das Nettogewicht liegt bei 237 g, die Lebensdauer wird mit rund 1.500 Stunden angegeben.
Kompatibilität und Hinweise
Der Sockel besteht aus der Kombination Anode SFaX14-5/21 und Kathode SFc15-6/25 und ist speziell auf Nikon-Systeme ausgelegt. Wie bei Quecksilberdampf-Kurzbogenlampen dieser Bauart ist der Betrieb nur in dafür konstruierten, geschlossenen Anlagengehäusen vorgesehen.
Fazit
Die Osram HBO 1002 W/NIL ist eine für Nikon-Mikrolithografiesysteme qualifizierte Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe mit vergleichsweise hoher Lebensdauer von rund 1.500 Stunden.
Kurz zusammengefasst:
- Hohe spektrale Intensität mit Spitzenwert bei 365 nm
- Speziell für Nikon i-line-Belichtungssysteme qualifiziert
- Lebensdauer von rund 1.500 Stunden
- Sockelkombination Anode SFaX14-5/21 / Kathode SFc15-6/25
- Betrieb nur in dafür konstruierten, geschlossenen Gehäusen vorgesehen