Beschreibung
Osram HBO 1003W/PIL – Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe, 1003 W, Sockel SFcX14-6/25
Für hochpräzise Belichtungssysteme in der Mikrolithografie ist eine extrem stabile und intensive Lichtquelle Voraussetzung – genau hier setzt die Osram HBO 1003W/PIL an. Es handelt sich um eine Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe mit einer Leistung von 1000 W, ausgelegt für den Einsatz in ASML-i-line-Belichtungsanlagen.
Die Lampe liefert ein Spektrum mit hoher Strahlungsintensität im UV-Bereich und ist speziell für Anwendungen konzipiert, bei denen es auf reproduzierbare, gleichbleibende Lichtleistung ankommt.
Einsatzbereiche
Die HBO 1003W/PIL ist für den Einsatz in der Mikrolithografie vorgesehen, konkret als qualifizierte Lichtquelle für ASML-i-line-Systeme. Solche Anlagen werden in der Halbleiterfertigung zur Belichtung von Wafern eingesetzt, wo eine hohe spektrale Intensität mit Schwerpunkt bei einer Wellenlänge von 365 nm gefordert ist.
Vorteile im Alltag
Der Bogen dieser Lampe ist auf eine hohe spektrale Intensität mit Spitzenwert bei 365 nm ausgelegt, was sie für die i-line-Lithografie besonders geeignet macht. Zudem ist sie auf eine möglichst lange und gleichmäßige Betriebsdauer hin konstruiert, sodass Anwender mit einer verlässlichen Lichtleistung über den Nutzungszeitraum planen können.
Technik in Kürze
Die Lampe arbeitet mit einer Nennspannung von 27,1 V bei einem Lampenstrom von 25,8 A und einer Leistungsaufnahme von 1000 W. Die Stabform bringt es bei einem Durchmesser von 29 mm auf eine Gesamtlänge von 195 mm, der Abstand des Lichtschwerpunkts (LCL) liegt bei 85 mm. Mit rund 259 g Nettogewicht ist sie vergleichsweise kompakt. Die angegebene Lebensdauer beträgt etwa 1500 Stunden.
Kompatibilität und Hinweise
Die HBO 1003W/PIL verfügt über eine spezielle Doppelsockelung: Anode SFcX14-6/25 und Kathode SFc15-6/25. Der Einbau ist daher auf dafür vorgesehene Fassungen bzw. Lampengehäuse in kompatiblen Belichtungssystemen beschränkt und nicht für allgemeine Beleuchtungszwecke gedacht.
Fazit
Die Osram HBO 1003W/PIL ist eine spezialisierte Kurzbogenlampe für die professionelle Mikrolithografie, die auf reproduzierbare UV-Intensität und eine für ASML-i-line-Systeme abgestimmte Bauform ausgelegt ist.
Kurz zusammengefasst:
- 1000 W Leistungsaufnahme bei 27,1 V Nennspannung
- Hohe spektrale Intensität mit Schwerpunkt bei 365 nm
- Qualifiziert für ASML-i-line-Mikrolithografiesysteme
- Kompakte Stabform mit 195 mm Gesamtlänge und 29 mm Durchmesser
- Rund 1500 Stunden angegebene Lebensdauer