Beschreibung
Osram HBO 1500W/CIEL – Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe, 1500 W, Sockel SFA27
Wer eine Lichtquelle für Canon-i-line-Belichtungsanlagen ersetzen muss, landet bei passender Spezifikation bei der Osram HBO 1500W/CIEL. Diese Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe leistet 1500 W und wurde für den Einsatz in der industriellen Mikrolithografie entwickelt.
Charakteristisch für diesen Lampentyp ist ein Lichtbogen mit hoher spektraler Intensität im UV-Bereich, der eine präzise und gleichbleibende Belichtung ermöglicht.
Einsatzbereiche
Die HBO 1500W/CIEL ist für die Mikrolithografie vorgesehen und wurde speziell für den Betrieb in Canon-i-line-Systemen qualifiziert, wie sie in der Halbleiterfertigung zur Wafer-Belichtung eingesetzt werden.
Vorteile im Alltag
Die spektrale Intensität der Lampe erreicht ihren Höhepunkt bei einer Wellenlänge von 365 nm, was sie für i-line-Lithografieprozesse geeignet macht. Die Konstruktion ist zudem auf eine dauerhaft stabile Lichtleistung über die Einsatzzeit ausgelegt.
Technik in Kürze
Die Lampe wird mit 23 V Nennspannung und einem Lampenstrom von 65 A betrieben und nimmt dabei 1500 W auf. Bei einem Durchmesser von 52 mm kommt sie auf eine Gesamtlänge von 262 mm, der Lichtschwerpunktabstand (LCL) liegt bei 122 mm. Das Nettogewicht beträgt 734 g.
Kompatibilität und Hinweise
Der Sockel ist mit SFA27 ausgeführt und für den Einbau in dafür vorgesehene Lampenfassungen industrieller Belichtungsanlagen bestimmt. Laut Herstellerangaben darf die Lampe wegen ihrer hohen Leuchtdichte, UV-Strahlung und ihres hohen Innendrucks im heißen Zustand ausschließlich in speziell dafür konstruierten, geschlossenen Lampengehäusen betrieben werden. Bei einem Bruch der Lampe wird Quecksilber freigesetzt, weshalb entsprechende Sicherheitsvorkehrungen einzuhalten sind.
Fazit
Die Osram HBO 1500W/CIEL ist eine leistungsstarke Kurzbogenlampe für die professionelle Mikrolithografie, ausgelegt für den Betrieb in geschlossenen Lampengehäusen kompatibler Canon-Systeme.
Kurz zusammengefasst:
- 1500 W Leistungsaufnahme bei 23 V Nennspannung
- Hohe spektrale Intensität mit Schwerpunkt bei 365 nm
- Qualifiziert für Canon-i-line-Mikrolithografiesysteme
- Sockel SFA27, 262 mm Gesamtlänge bei 52 mm Durchmesser
- Nur im geschlossenen Lampengehäuse zu betreiben