Beschreibung
Osram HBO 1500W/CIEL – Kurzbogenlampe, 1500 W, 2250 h Lebensdauer, Sockel SFa27
Für den Ersatz einer Kurzbogenlampe in Canon-i-line-Anlagen bietet Osram mit der HBO 1500W/CIEL eine Variante mit verlängerter Lebensdauer von 2250 Stunden. Die Quecksilberdampflampe leistet 1500 W und ist für den professionellen Einsatz in der Mikrolithografie ausgelegt.
Sie zählt zur Baureihe der Kurzbogenlampen mit hoher spektraler Intensität im UV-Bereich, wie sie für präzise Belichtungsprozesse benötigt wird.
Einsatzbereiche
Die Lampe ist für die Mikrolithografie bestimmt und wurde speziell für den Betrieb in Canon-i-line-Belichtungssystemen qualifiziert, die in der Halbleiterproduktion zur Wafer-Belichtung eingesetzt werden.
Vorteile im Alltag
Mit einer angegebenen Lebensdauer von rund 2250 Stunden bietet diese Ausführung im Vergleich zu kürzer spezifizierten HBO-1500-Varianten ein längeres Wechselintervall. Die spektrale Intensität mit Spitzenwert bei 365 nm ist zudem auf die Anforderungen der i-line-Lithografie abgestimmt.
Technik in Kürze
Betrieben wird die Lampe mit 23 V Nennspannung bei 65 A Lampenstrom und einer Leistungsaufnahme von 1500 W. Die Stabform bringt es bei 52 mm Durchmesser auf eine Gesamtlänge von 262 mm, der Lichtschwerpunktabstand liegt bei 122 mm. Das Nettogewicht beträgt 734 g.
Kompatibilität und Hinweise
Die Sockelung erfolgt getrennt über Anode SFa27-20/22 und Kathode SFa27-20/23. Laut Hersteller darf die Lampe wegen ihrer hohen Leuchtdichte, UV-Strahlung und ihres hohen Innendrucks im heißen Zustand ausschließlich in speziell konstruierten, geschlossenen Lampengehäusen betrieben werden; bei einem Bruch wird Quecksilber freigesetzt.
Fazit
Mit 2250 Stunden Lebensdauer positioniert sich diese HBO 1500W/CIEL-Variante als langlebige Kurzbogenlampe für Canon-i-line-Belichtungsanlagen in der Mikrolithografie.
Kurz zusammengefasst:
- 1500 W Leistungsaufnahme bei 23 V Nennspannung
- Rund 2250 Stunden angegebene Lebensdauer
- Qualifiziert für Canon-i-line-Systeme
- Stabform, 262 mm Gesamtlänge bei 52 mm Durchmesser
- Nur im geschlossenen Lampengehäuse zu betreiben