Beschreibung
Osram HBO 1500W/PIL – Kurzbogenlampe, 1500 W, Sockel SFc30-6/25
In ASML-i-line-Belichtungssystemen kommt für die Wafer-Belichtung eine präzise UV-Lichtquelle zum Einsatz – die Osram HBO 1500W/PIL wurde exakt für diesen Zweck qualifiziert. Die Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe leistet 1500 W und zählt zur HBO-Baureihe für die industrielle Mikrolithografie.
Ihr Lichtbogen liefert eine hohe spektrale Intensität im UV-Bereich, was für reproduzierbare Belichtungsergebnisse entscheidend ist.
Einsatzbereiche
Die Lampe ist für die Mikrolithografie ausgelegt und speziell für ASML-i-line-Systeme qualifiziert, die in der Halbleiterfertigung für die Wafer-Belichtung genutzt werden.
Vorteile im Alltag
Die spektrale Intensität erreicht ihren Spitzenwert bei 365 nm, wodurch die Lampe für i-line-Lithografieprozesse geeignet ist. Die Konstruktion zielt zudem auf eine möglichst gleichbleibende Lichtleistung über die gesamte Betriebsdauer ab.
Technik in Kürze
Die HBO 1500W/PIL arbeitet mit 23 V Nennspannung bei 65,2 A Lampenstrom und nimmt dabei 1500 W auf. Bei einem Durchmesser von 46 mm beträgt die Gesamtlänge 273 mm, der Lichtschwerpunktabstand liegt bei 118 mm. Das Nettogewicht liegt bei 672 g, die angegebene Lebensdauer bei rund 1500 Stunden.
Kompatibilität und Hinweise
Die Sockelung ist getrennt ausgeführt: Anode SFc30-6/25, Kathode SFc27-10/35. Der Einbau ist auf dafür vorgesehene Fassungen in kompatiblen ASML-Belichtungssystemen beschränkt.
Fazit
Die Osram HBO 1500W/PIL ist eine für ASML-i-line-Systeme qualifizierte Kurzbogenlampe mit hoher UV-Intensität für die professionelle Mikrolithografie.
Kurz zusammengefasst:
- 1500 W Leistungsaufnahme bei 23 V Nennspannung
- Hohe spektrale Intensität mit Schwerpunkt bei 365 nm
- Qualifiziert für ASML-i-line-Mikrolithografiesysteme
- 273 mm Gesamtlänge bei 46 mm Durchmesser
- Rund 1500 Stunden angegebene Lebensdauer