Beschreibung
Osram HBO 1500W/PIL – Kurzbogenlampe, 1500 W, 46 mm Durchmesser, Sockel SFc30-6/25
Diese Ausführung der Osram HBO 1500W/PIL ist wie die Schwesterversion für ASML-i-line-Belichtungsanlagen qualifiziert, unterscheidet sich jedoch in einzelnen Fertigungsdetails. Die Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe leistet 1500 W und ist Teil der HBO-Baureihe für die Mikrolithografie.
Kennzeichnend ist der Lichtbogen mit hoher spektraler Intensität im UV-Bereich, der für präzise Belichtungsprozesse in der Halbleiterfertigung ausgelegt ist.
Einsatzbereiche
Die Lampe ist für die Mikrolithografie bestimmt und für den Betrieb in ASML-i-line-Systemen qualifiziert.
Vorteile im Alltag
Der Spitzenwert der spektralen Intensität liegt bei 365 nm, was die Lampe für i-line-Lithografie geeignet macht. Zudem ist sie auf eine lang anhaltende, gleichmäßige Betriebsleistung hin konzipiert.
Technik in Kürze
Betrieben wird die Lampe mit 23 V Nennspannung bei 65,2 A Lampenstrom und 1500 W Leistungsaufnahme. Bei 46 mm Durchmesser beträgt die Gesamtlänge 273 mm, der Lichtschwerpunktabstand liegt bei 118 mm, das Nettogewicht bei 672 g. Die maximale Betriebstemperatur ist mit 200 °C angegeben.
Kompatibilität und Hinweise
Die Sockelung erfolgt getrennt über Anode SFc30-6/25 und Kathode SFc27-10/35, ausgelegt für kompatible ASML-Belichtungssysteme.
Fazit
Diese HBO 1500W/PIL ist eine für ASML-i-line-Systeme qualifizierte Kurzbogenlampe, deren technische Eckdaten für den professionellen Einsatz in der Mikrolithografie ausgelegt sind.
Kurz zusammengefasst:
- 1500 W Leistungsaufnahme bei 23 V Nennspannung
- Qualifiziert für ASML-i-line-Mikrolithografiesysteme
- 273 mm Gesamtlänge bei 46 mm Durchmesser
- Maximale Betriebstemperatur von 200 °C angegeben
- Getrennte Sockelung für Anode und Kathode