Beschreibung
Osram HBO 1750W/NIL – Kurzbogenlampe, Sockel SFc27-12/35, für Nikon-i-line-Systeme
Nikon-i-line-Belichtungsanlagen benötigen für die Wafer-Belichtung eine speziell abgestimmte UV-Lichtquelle – die Osram HBO 2000W/NIL wurde genau dafür qualifiziert. Sie gehört zur HBO-Baureihe der Quecksilberdampf-Kurzbogenlampen für die industrielle Mikrolithografie.
Der Lichtbogen liefert eine hohe spektrale Intensität im UV-Bereich, die für präzise Belichtungsergebnisse in der Halbleiterfertigung entscheidend ist.
Einsatzbereiche
Die Lampe ist für die Mikrolithografie vorgesehen und speziell für Nikon-i-line-Belichtungssysteme qualifiziert.
Vorteile im Alltag
Die spektrale Intensität erreicht ihren Spitzenwert bei 365 nm, wodurch die Lampe optimal auf i-line-Lithografieprozesse abgestimmt ist. Die Bauweise zielt zusätzlich auf eine möglichst lange und stabile Betriebsdauer ab.
Technik in Kürze
Die HBO 2000W/NIL wird mit 26 V Nennspannung bei 67 A Lampenstrom betrieben. Je nach Angabe liegt die Leistungsaufnahme bei 1750 bzw. 2000 W. Bei rund 55 mm Durchmesser beträgt die Gesamtlänge 241 mm, der Lichtschwerpunktabstand liegt bei 112,25 mm. Das Nettogewicht beträgt 725 g, die angegebene Lebensdauer rund 1500 Stunden.
Kompatibilität und Hinweise
Die Sockelung ist getrennt ausgeführt: Anode SFc27-12/35, Kathode SFc27-7/35. Der Einbau ist auf dafür vorgesehene Fassungen in kompatiblen Nikon-Belichtungsanlagen beschränkt.
Fazit
Die Osram HBO 2000W/NIL ist eine für Nikon-i-line-Systeme qualifizierte Kurzbogenlampe mit hoher UV-Intensität für den professionellen Einsatz in der Mikrolithografie.
Kurz zusammengefasst:
- Leistungsaufnahme laut Datenblatt 1750–2000 W bei 26 V
- Hohe spektrale Intensität mit Schwerpunkt bei 365 nm
- Qualifiziert für Nikon-i-line-Mikrolithografiesysteme
- 241 mm Gesamtlänge bei rund 53 mm Durchmesser
- Rund 1500 Stunden angegebene Lebensdauer