Beschreibung
Osram HBO 2001W/NIEL – Kurzbogenlampe, Sockel SFc27-10/35, für Nikon-i-line-Systeme
Für den Austausch einer Lichtquelle in Nikon-i-line-Belichtungsanlagen ist die Osram HBO 2001W/NIEL vorgesehen. Die Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe gehört zur HBO-Baureihe für die industrielle Mikrolithografie und ist speziell für Nikon-Systeme qualifiziert.
Der Lichtbogen liefert eine hohe spektrale Intensität im UV-Bereich, wie sie für präzise Belichtungsprozesse in der Halbleiterfertigung benötigt wird.
Einsatzbereiche
Die Lampe ist für die Mikrolithografie bestimmt und für den Betrieb in Nikon-i-line-Belichtungssystemen qualifiziert.
Vorteile im Alltag
Die spektrale Intensität erreicht ihren Spitzenwert bei 365 nm, was die Lampe optimal für i-line-Lithografieprozesse macht. Die Konstruktion ist zudem auf eine möglichst lange, gleichbleibende Betriebsleistung ausgelegt.
Technik in Kürze
Die HBO 2001W/NIEL wird mit 26 V Nennspannung bei 67 A Lampenstrom betrieben. Die Leistungsaufnahme ist je nach Angabe mit 1750 bzw. 1750 W dokumentiert. Bei 55 mm Durchmesser beträgt die Länge 251 mm, der Lichtschwerpunktabstand liegt bei 112 mm, das Nettogewicht bei 709 g.
Kompatibilität und Hinweise
Die Sockelung erfolgt getrennt über Anode SFc27-10/35 und Kathode SFc27-7/35, ausgelegt für kompatible Nikon-Belichtungssysteme.
Fazit
Die Osram HBO 2001W/NIEL ist eine für Nikon-i-line-Systeme qualifizierte Kurzbogenlampe für den professionellen Einsatz in der Mikrolithografie.
Kurz zusammengefasst:
- Leistungsaufnahme laut Datenblatt 1750–2000 W bei 26 V
- Hohe spektrale Intensität mit Schwerpunkt bei 365 nm
- Qualifiziert für Nikon-i-line-Mikrolithografiesysteme
- 251 mm Länge bei 55 mm Durchmesser
- Getrennte Sockelung für Anode und Kathode