Beschreibung
Osram HBO 201 W/HS-D2 – Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe für Mikrolithografie
Die Osram HBO 201 W/HS-D2 ist eine Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe mit 201 Watt Leistung, die für hochspezialisierte Anwendungen in der Mikrolithografie entwickelt wurde. Sie liefert eine hohe spektrale Intensität mit Spitzenwert bei einer Wellenlänge von 365 nm.
Damit ist sie speziell auf Belichtungsprozesse ausgelegt, bei denen genau dieser UV-Wellenlängenbereich benötigt wird, etwa in industriellen Belichtungsanlagen.
Einsatzbereiche
Die Lampe ist für Mikrolithografie-Anwendungen vorgesehen und wurde mit gängigen Anlagen namhafter Hersteller in diesem Bereich qualifiziert. Sie eignet sich damit für den Einsatz in industriellen Belichtungssystemen, nicht für den allgemeinen Beleuchtungsbedarf.
Vorteile im Alltag
Die hohe spektrale Intensität bei 365 nm macht die Lampe ideal für Mikrolithografie-Prozesse, bei denen exakte UV-Belichtung erforderlich ist. Zudem ist sie auf eine lang anhaltende Leistung ausgelegt, was für einen zuverlässigen Betrieb in Produktionsanlagen sorgt.
Technik in Kürze
Die Lampe arbeitet mit einer Spannung von 25 V und einem Lampenstrom von 8 A bei einer Leistung von 201 Watt. Bei einem Durchmesser von 20 mm beträgt die Länge 150 mm, das Nettogewicht liegt bei 121 g. Die Lebensdauer wird mit rund 1.000 Stunden angegeben.
Kompatibilität und Hinweise
Der Sockel besteht aus der Kombination Anode SFcX32-22 und Kathode SFCX12-4/15 und ist für spezifische Mikrolithografie-Anlagen vorgesehen. Aufgrund der hohen Leuchtdichte, UV-Strahlung und des hohen Innendrucks im heißen Zustand darf die Lampe nur in speziell dafür konstruierten, geschlossenen Lampengehäusen betrieben werden. Bei einem Bruch der Lampe wird Quecksilber freigesetzt, weshalb besondere Sicherheitsvorkehrungen einzuhalten sind.
Fazit
Die Osram HBO 201 W/HS-D2 ist eine hochspezialisierte Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe für Mikrolithografie-Anwendungen mit präziser UV-Emission bei 365 nm.
Kurz zusammengefasst:
- 201 Watt Leistung mit spektraler Spitzenintensität bei 365 nm
- Speziell für Mikrolithografie-Anlagen qualifiziert
- Lebensdauer von rund 1.000 Stunden
- Betrieb ausschließlich in geschlossenen, dafür konstruierten Gehäusen zulässig
- Bei Bruch wird Quecksilber freigesetzt – besondere Sicherheitsvorkehrungen erforderlich

