Beschreibung
Osram HBO 2100W/PIL – Kurzbogenlampe, 2100 W, Sockel SK 33s/42, für ASML-i-line-Systeme
Mit 2100 W gehört die Osram HBO 2100W/PIL zu den leistungsstärkeren Modellen der HBO-Baureihe und ist speziell für ASML-i-line-Belichtungssysteme in der Mikrolithografie qualifiziert. Die Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe liefert einen Lichtbogen mit hoher spektraler Intensität im UV-Bereich.
Sie ist für den Einsatz in Anlagen zur Wafer-Belichtung in der Halbleiterfertigung ausgelegt.
Einsatzbereiche
Die Lampe ist für die Mikrolithografie bestimmt und für den Betrieb in ASML-i-line-Belichtungssystemen qualifiziert.
Vorteile im Alltag
Die spektrale Intensität erreicht ihren Spitzenwert bei 365 nm, wodurch die Lampe für i-line-Lithografieprozesse geeignet ist. Die Konstruktion zielt zudem auf eine dauerhaft stabile Betriebsleistung ab.
Technik in Kürze
Die HBO 2100W/PIL wird mit 24 V Nennspannung bei 87,5 A Lampenstrom betrieben und nimmt 2100 W auf. Bei rund 52 mm Durchmesser beträgt die Gesamtlänge 273 mm, der Lichtschwerpunktabstand liegt bei 118 mm. Das Nettogewicht beträgt 540 g.
Kompatibilität und Hinweise
Die Sockelung ist mit Anode SK 33s/42 / SFc27-12/35 angegeben und für den Einbau in dafür vorgesehene Fassungen kompatibler ASML-Belichtungssysteme bestimmt.
Fazit
Die Osram HBO 2100W/PIL ist eine für ASML-i-line-Systeme qualifizierte, leistungsstarke Kurzbogenlampe für die professionelle Mikrolithografie.
Kurz zusammengefasst:
- 2100 W Leistungsaufnahme bei 24 V Nennspannung
- Hohe spektrale Intensität mit Schwerpunkt bei 365 nm
- Qualifiziert für ASML-i-line-Mikrolithografiesysteme
- 273 mm Gesamtlänge bei rund 47 mm Durchmesser
- Lampenstrom von 87,5 A