Beschreibung
Osram HBO 2501W/NIL – Kurzbogenlampe, 2500 W, für Nikon-i-line-Systeme
Mit 2500 W zählt die Osram HBO 2501W/NIL zu den leistungsstärkeren Modellen der HBO-Baureihe. Die Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe ist speziell für Nikon-i-line-Belichtungssysteme in der Mikrolithografie qualifiziert.
Charakteristisch für die HBO-Reihe ist ein Lichtbogen mit hoher spektraler Intensität im UV-Bereich, der für präzise Belichtungsergebnisse benötigt wird.
Einsatzbereiche
Die Lampe ist für die Mikrolithografie bestimmt und für den Betrieb in Nikon-i-line-Belichtungssystemen qualifiziert, wie sie zur Wafer-Belichtung in der Halbleiterfertigung eingesetzt werden.
Vorteile im Alltag
Die spektrale Intensität erreicht ihren Spitzenwert bei 365 nm, was die Lampe für i-line-Lithografieprozesse geeignet macht. Die Bauweise ist zudem auf eine über die Betriebsdauer gleichbleibende Lichtleistung ausgelegt.
Technik in Kürze
Die HBO 2501W/NIL wird mit 23 V Nennspannung bei 109 A Lampenstrom betrieben und nimmt 2500 W auf. Bei 70 mm Durchmesser beträgt die Länge 357 mm, der Lichtschwerpunktabstand liegt bei 157,75 mm. Das Nettogewicht beträgt 993 g.
Kompatibilität und Hinweise
Die Lampe ist für den Einbau in dafür vorgesehene Fassungen kompatibler Nikon-Belichtungsanlagen bestimmt.
Fazit
Die Osram HBO 2501W/NIL ist eine leistungsstarke Kurzbogenlampe, qualifiziert für Nikon-i-line-Systeme in der professionellen Mikrolithografie.
Kurz zusammengefasst:
- 2500 W Leistungsaufnahme bei 23 V Nennspannung
- Hohe spektrale Intensität mit Schwerpunkt bei 365 nm
- Qualifiziert für Nikon-i-line-Mikrolithografiesysteme
- 357 mm Länge bei 70 mm Durchmesser
- Lampenstrom von 109 A