Beschreibung
Osram HBO 250 W/LS – Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe für Mikrolithografie
Für den Einsatz in Mikrolithografie-Anlagen anderer Systemhersteller bietet Osram die HBO 250 W/LS an. Diese Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe liefert 250 Watt Leistung mit hoher spektraler Intensität bei einer Spitzenwellenlänge von 365 nm.
Sie ist speziell für Belichtungsprozesse konzipiert, bei denen dieser UV-Bereich für die Strukturierung benötigt wird.
Einsatzbereiche
Der Haupteinsatzbereich liegt in der Mikrolithografie, wo die Lampe mit gängigen Anlagen namhafter Hersteller qualifiziert ist. Damit eignet sie sich für industrielle Belichtungssysteme außerhalb der allgemeinen Beleuchtung.
Vorteile im Alltag
Die hohe spektrale Intensität bei 365 nm macht die Lampe auch für anspruchsvolle Mikrolithografie-Prozesse geeignet. Sie ist zudem auf eine lang anhaltende Leistung ausgelegt, was gleichbleibende Belichtungsergebnisse über die Betriebsdauer unterstützt.
Technik in Kürze
Bei einer Nennspannung von 39 V liefert die Lampe 250 Watt Leistung. Bei einem Durchmesser von 20 mm beträgt die Gesamtlänge 147 mm, der Lichtschwerpunkt liegt bei 62 mm, das Nettogewicht bei 130 g.
Kompatibilität und Hinweise
Der Sockel ist mit SFa13-5/20 angegeben. Wie bei Quecksilberdampf-Kurzbogenlampen dieser Bauart üblich, ist die Lampe für den Betrieb in speziell dafür konstruierten, geschlossenen Anlagengehäusen vorgesehen.
Fazit
Die Osram HBO 250 W/LS ist eine für die Mikrolithografie qualifizierte Quecksilberdampf-Kurzbogenlampe mit präziser UV-Emission bei 365 nm.
Kurz zusammengefasst:
- 250 Watt Leistung mit spektraler Spitzenintensität bei 365 nm
- Qualifiziert für gängige Mikrolithografie-Anlagen
- Kompakte Bauform mit 147 mm Gesamtlänge bei 20 mm Durchmesser
- Sockel SFa13-5/20 für spezifische Fassungen
- Ausgelegt auf lang anhaltende, gleichbleibende Belichtungsleistung