Beschreibung
Osram HBO 4500W/CIL 30V 158A – Quecksilber-Hochdrucklampe für Mikrolithografie
Speziell für den Einsatz in der Mikrolithografie wurde die Osram HBO 4500W/CIL entwickelt. Diese Hochdrucklampe erreicht bei 158 A Lampenstrom und 30 V Nennspannung eine Leistung von 4.500 W und ist auf eine hohe spektrale Intensität bei einer Wellenlänge um 365 nm ausgelegt.
Mit 85 mm Durchmesser und 354 mm Länge sowie einem Nettogewicht von 1.720 g ist die Lampe für den Einbau in dafür qualifizierte Belichtungssysteme bestimmt.
Einsatzbereiche
Die HBO 4500W/CIL ist speziell für Mikrolithografie-Anwendungen konzipiert, bei denen eine hohe Bestrahlungsstärke im UV-nahen Spektralbereich benötigt wird.
Vorteile im Einsatz
Die hohe spektrale Intensität mit Spitzenwert bei rund 365 nm macht die Lampe für Mikrolithografie-Prozesse besonders geeignet. Sie ist auf langanhaltende Leistung ausgelegt und für den Einsatz in entsprechend qualifizierten Systemen freigegeben.
Technik in Kürze
Bei 30 V Nennspannung und 158 A Lampenstrom liefert die Lampe 4.500 W Leistung. Der spezielle Sockel ist als SFaX46-36/50 ausgeführt, das Nettogewicht beträgt 1.720 g.
Kompatibilität und Hinweise
Die Lampe ist ausschließlich für den Einbau in dafür qualifizierte Mikrolithografie-Systeme mit passendem Sockel und Vorschaltgerät bestimmt.
Fazit
Die HBO 4500W/CIL ist eine spezialisierte Hochdrucklampe für professionelle Mikrolithografie-Anwendungen mit hohen Anforderungen an die spektrale Intensität.
Kurz zusammengefasst:
- 4.500 W Leistung bei 30 V und 158 A
- Hohe spektrale Intensität bei rund 365 nm
- Speziell für Mikrolithografie ausgelegt
- Sockel SFaX46-36/50
- Nettogewicht von 1.720 g