Speziallampen · Osram HBO · Mikrolithografie

Mikrolithographielampen 3 Artikel

Mikrolithographielampen sind Quecksilber-Kurzbogenlampen der Osram-Baureihe HBO für Belichtungs- und Mikrolithografie-Anwendungen in Industrie und Labor. Sie liefern eine punktförmige, intensive Lichtquelle und werden in Maskaligner, Stepper, Belichtungsanlagen und optischen Messsystemen eingesetzt.

Entscheidend ist hier nicht die Lichtfarbe, sondern die exakte Übereinstimmung von Leistung, Brennspannung und Sockelbauform mit Ihrem Gerät. Die genauen Lampendaten sowie die zugelassene Vorschalt-/Zündtechnik entnehmen Sie dem Datenblatt und der Gerätedokumentation.

Spezial-Kurzbogenfür Mikrolithografie
OsramHersteller HBO
50–1500 WLeistungsbereich (je Typ)
SpezialsockelSFa / SFc (Anode/Kathode)
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Kurz zusammengefasst

  • Osram HBO Quecksilber-Kurzbogenlampen für Mikrolithografie, Belichtung und optische Messtechnik
  • Auswahl nach Lampentyp, Leistung und Brennspannung – exakt passend zum Gerät
  • Spezialsockel als Anoden-/Kathoden-Bauform (SFa/SFc); Bezeichnung laut Datenblatt prüfen

Worauf es ankommt

Lampentyp exakt bestimmen

Maßgeblich ist die genaue Osram-HBO-Typbezeichnung Ihres Geräts (z. B. HBO 350W, HBO 1000W). Leistung und Brennspannung müssen mit der Anlage übereinstimmen.

Sockel- und Polung prüfen

Die Lampen haben spezielle Anoden- und Kathodensockel (SFa/SFc-Bauformen). Verwechslungsgefahr bei der Bauform – Sockelangabe im Datenblatt mit der Lampenfassung abgleichen.

Zünd- und Betriebsgerät beachten

Kurzbogenlampen benötigen ein passendes Vorschalt- und Zündgerät. Betrieb, Justage und Wechsel laut Gerätedokumentation; Eignung der Betriebstechnik je Lampe prüfen.

Worauf achten?

Wofür Mikrolithographielampen eingesetzt werden

HBO-Lampen erzeugen einen sehr kleinen, hellen Lichtbogen. Diese punktnahe Lichtquelle ist die Voraussetzung für die scharfe Abbildung in Belichtungs- und Mikrolithografie-Systemen, etwa beim Belichten von Wafern, Masken und Leiterplatten oder in der Fluoreszenz- und Messtechnik. Es handelt sich um eine ausgesprochene Profi- und Industrie-Nische mit gerätespezifischen Lampentypen.

Auswahl: was zusammenpassen muss

Eine Mikrolithographielampe lässt sich nicht über die Lichtfarbe auswählen. Maßgeblich sind drei Punkte:

  • die exakte Osram-HBO-Typbezeichnung des Geräteherstellers,
  • die Nennleistung und die Brennspannung (im Sortiment u. a. von 23 V bis 62 V belegt – je Typ unterschiedlich),
  • die Sockelbauform als Anoden-/Kathodenausführung (SFa/SFc).

Stimmt einer dieser Werte nicht, passt die Lampe nicht oder die Anlage arbeitet außerhalb der Spezifikation. Im Zweifel die Gerätedokumentation und das Lampendatenblatt heranziehen.

Sicherheit und Handhabung

Quecksilber-Kurzbogenlampen stehen im Betrieb unter hohem Druck und erreichen hohe Temperaturen. Wechsel, Justage und Entsorgung gehören in fachkundige Hände nach Hersteller- und Gerätevorgaben; im Zweifel eine Elektrofachkraft oder den Geräteservice hinzuziehen. Konkrete Hinweise zu UV-Schutz, Einlauf- und Brenndauer entnehmen Sie dem jeweiligen Datenblatt.

Passende Ratgeber

Häufige Fragen zu Mikrolithographielampen

Was ist eine Mikrolithographielampe?
Es handelt sich um eine Quecksilber-Kurzbogenlampe (Osram-Baureihe HBO) mit sehr kleinem, hellem Lichtbogen. Diese punktnahe Lichtquelle wird in Belichtungs- und Mikrolithografie-Anlagen sowie in der optischen Mess- und Fluoreszenztechnik eingesetzt.
Wie finde ich die passende HBO-Lampe für mein Gerät?
Ausschlaggebend ist die genaue HBO-Typbezeichnung des Geräteherstellers. Leistung, Brennspannung und Sockelbauform der Ersatzlampe müssen mit den Vorgaben Ihrer Anlage übereinstimmen. Die Werte stehen im Datenblatt und in der Gerätedokumentation.
Welche Sockel haben diese Lampen?
HBO-Lampen nutzen spezielle Anoden- und Kathodensockel in SFa-/SFc-Bauformen. Die genaue Bezeichnung unterscheidet sich je Lampentyp und ist im Datenblatt angegeben. Prüfen Sie die Bauform vor dem Kauf, da hier Verwechslungsgefahr besteht.
Brauche ich ein eigenes Betriebsgerät?
Ja. Kurzbogenlampen werden über ein passendes Vorschalt- und Zündgerät betrieben. Welche Betriebstechnik zugelassen ist, hängt vom Lampentyp und Gerät ab – siehe Datenblatt und Gerätevorgaben.
Sind diese Lampen für den Hausgebrauch geeignet?
Nein. Mikrolithographielampen sind reine Industrie- und Laborlampen für definierte optische Anlagen. Sie sind keine Raumbeleuchtung und benötigen die jeweils vorgesehene Anlage samt Betriebsgerät.
Wie werden HBO-Lampen entsorgt?
Quecksilberhaltige Lampen gehören nicht in den Hausmüll, sondern in die fachgerechte Entsorgung. Hinweise finden Sie in unserem Ratgeber zur Leuchtmittel-Entsorgung und in den Herstellerangaben.