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Worauf achten?

Wofür Mikrolithographielampen eingesetzt werden

HBO-Lampen erzeugen einen sehr kleinen, hellen Lichtbogen. Diese punktnahe Lichtquelle ist die Voraussetzung für die scharfe Abbildung in Belichtungs- und Mikrolithografie-Systemen, etwa beim Belichten von Wafern, Masken und Leiterplatten oder in der Fluoreszenz- und Messtechnik. Es handelt sich um eine ausgesprochene Profi- und Industrie-Nische mit gerätespezifischen Lampentypen.

Auswahl: was zusammenpassen muss

Eine Mikrolithographielampe lässt sich nicht über die Lichtfarbe auswählen. Maßgeblich sind drei Punkte:

• die exakte Osram-HBO-Typbezeichnung des Geräteherstellers,
• die Nennleistung und die Brennspannung (im Sortiment u. a. von 23 V bis 62 V belegt – je Typ unterschiedlich),
• die Sockelbauform als Anoden-/Kathodenausführung (SFa/SFc).

Stimmt einer dieser Werte nicht, passt die Lampe nicht oder die Anlage arbeitet außerhalb der Spezifikation. Im Zweifel die Gerätedokumentation und das Lampendatenblatt heranziehen.

Sicherheit und Handhabung

Quecksilber-Kurzbogenlampen stehen im Betrieb unter hohem Druck und erreichen hohe Temperaturen. Wechsel, Justage und Entsorgung gehören in fachkundige Hände nach Hersteller- und Gerätevorgaben; im Zweifel eine Elektrofachkraft oder den Geräteservice hinzuziehen. Konkrete Hinweise zu UV-Schutz, Einlauf- und Brenndauer entnehmen Sie dem jeweiligen Datenblatt.