Mikrolithographielampen 44 Artikel
Mikrolithographielampen sind Quecksilber-Kurzbogenlampen der Osram-Baureihe HBO für Belichtungs- und Mikrolithografie-Anwendungen in Industrie und Labor. Sie liefern eine punktförmige, intensive Lichtquelle und werden in Maskaligner, Stepper, Belichtungsanlagen und optischen Messsystemen eingesetzt.
Entscheidend ist hier nicht die Lichtfarbe, sondern die exakte Übereinstimmung von Leistung, Brennspannung und Sockelbauform mit Ihrem Gerät. Die genauen Lampendaten sowie die zugelassene Vorschalt-/Zündtechnik entnehmen Sie dem Datenblatt und der Gerätedokumentation.
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Energieeffizienz
Kurz zusammengefasst
- Osram HBO Quecksilber-Kurzbogenlampen für Mikrolithografie, Belichtung und optische Messtechnik
- Auswahl nach Lampentyp, Leistung und Brennspannung – exakt passend zum Gerät
- Spezialsockel als Anoden-/Kathoden-Bauform (SFa/SFc); Bezeichnung laut Datenblatt prüfen
Worauf es ankommt
Lampentyp exakt bestimmen
Maßgeblich ist die genaue Osram-HBO-Typbezeichnung Ihres Geräts (z. B. HBO 350W, HBO 1000W). Leistung und Brennspannung müssen mit der Anlage übereinstimmen.
Sockel- und Polung prüfen
Die Lampen haben spezielle Anoden- und Kathodensockel (SFa/SFc-Bauformen). Verwechslungsgefahr bei der Bauform – Sockelangabe im Datenblatt mit der Lampenfassung abgleichen.
Zünd- und Betriebsgerät beachten
Kurzbogenlampen benötigen ein passendes Vorschalt- und Zündgerät. Betrieb, Justage und Wechsel laut Gerätedokumentation; Eignung der Betriebstechnik je Lampe prüfen.
Worauf achten?
Wofür Mikrolithographielampen eingesetzt werden
HBO-Lampen erzeugen einen sehr kleinen, hellen Lichtbogen. Diese punktnahe Lichtquelle ist die Voraussetzung für die scharfe Abbildung in Belichtungs- und Mikrolithografie-Systemen, etwa beim Belichten von Wafern, Masken und Leiterplatten oder in der Fluoreszenz- und Messtechnik. Es handelt sich um eine ausgesprochene Profi- und Industrie-Nische mit gerätespezifischen Lampentypen.
Auswahl: was zusammenpassen muss
Eine Mikrolithographielampe lässt sich nicht über die Lichtfarbe auswählen. Maßgeblich sind drei Punkte:
- die exakte Osram-HBO-Typbezeichnung des Geräteherstellers,
- die Nennleistung und die Brennspannung (im Sortiment u. a. von 23 V bis 62 V belegt – je Typ unterschiedlich),
- die Sockelbauform als Anoden-/Kathodenausführung (SFa/SFc).
Stimmt einer dieser Werte nicht, passt die Lampe nicht oder die Anlage arbeitet außerhalb der Spezifikation. Im Zweifel die Gerätedokumentation und das Lampendatenblatt heranziehen.
Sicherheit und Handhabung
Quecksilber-Kurzbogenlampen stehen im Betrieb unter hohem Druck und erreichen hohe Temperaturen. Wechsel, Justage und Entsorgung gehören in fachkundige Hände nach Hersteller- und Gerätevorgaben; im Zweifel eine Elektrofachkraft oder den Geräteservice hinzuziehen. Konkrete Hinweise zu UV-Schutz, Einlauf- und Brenndauer entnehmen Sie dem jeweiligen Datenblatt.




















